Détection et contrôle des traces d'impuretés essentielles pour la fabrication de semi-conducteurs
Les gaz spéciaux utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs doivent être d'une grande pureté en raison de la précision du processus. Même la présence de traces d'impuretés, mesurées en parties par trillion, entraînera la perte de lots entiers de circuits intégrés. Des mesures fiables et répétables, des paramètres clés avec des limites de détection inférieures à <100 ppt, sont essentielles dans ces applications.