1 mars 2022

Analyseur unique en son genre : mesures ultra-stables de N2 sub-ppb dans l'argon pour l'industrie des semi-conducteurs

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Les fabricants de semi-conducteurs bénéficient d'une plus grande confiance dans la qualité de leurs gaz de procédé grâce à une meilleure détection de l'azote à l'état de traces à des niveaux inférieurs à ppb.

LDetek a amélioré son analyseur d'azote à l'état de trace LD8000 Plus, qui offre désormais une limite de détection inférieure de 0,1 ppb N2. Conçu spécifiquement pour les besoins des fabricants de semi-conducteurs, l'analyseur mis à niveau offre également un temps de réponse rapide de 60 secondes et une meilleure stabilité.

Sur la base du détecteur d'émission plasma (PED) breveté de LDetek, utilise une combinaison d'un équilibre sous vide contrôlé, plus un réseau de vannes pour équilibrer les sources d'excitation, afin d'améliorer les lectures de traces de N2. Cette méthode sans dérive fait du LD8000 Plus l'instrument le plus efficace actuellement sur le marché pour mesurer l'azote à l'état de traces à un niveau inférieur à ppb.

   

Les points forts de la mise à niveau du LD8000 Plus sont notamment :

Effet d'auto-annulation de la contamination de la ligne de gaz et de l'absorption de surface par une ligne de gaz revêtue et des conditions de vide optimisées.

Des mesures ultra-stables : Les interférences et la dérive de température ont été réduites au minimum grâce à l'utilisation de la mesure différentielle continue entre le gaz échantillon et le gaz de référence sans azote.

Analyseur à réponse rapide pour un meilleur contrôle des procédés.

LDetek a publié un rapport de conception, donnant tous les détails sur la linéarité, la précision et la répétabilité de l'analyseur, ainsi que des données de test et des chromatogrammes. Vous pouvez télécharger une copie du rapport sur ProcessSensing.com.