Come garantire la qualità nella produzione OEM di semiconduttori

Semiconductor Wafer.

Risolvere i problemi di misurazione dell'umidità in tracce nella produzione di semiconduttori

Il futuro del mercato dei chip a semiconduttore si prospetta roseo. Dopo le sfide alimentate dalla pandemia di Covid e dalla crisi del costo della vita - scarsità di fornitura di chip, difficoltà nel calcolare la domanda - ci sono segnali incoraggianti che indicano che il settore sta iniziando a emergere con un nuovo slancio a lungo termine. Ciò è dovuto ai progressi tecnologici e al diffuso riconoscimento da parte dei governi che i semiconduttori sono fondamentali per lo sviluppo tecnologico futuro, la sicurezza economica e la crescita. 

In Europa, l'UE ha introdotto il Chip Act, mentre in America il CHIPS and Science Act 2022 è già stato firmato dall'amministrazione Biden. Entrambi mirano a stimolare l'ulteriore crescita delle rispettive industrie di semiconduttori. La legge dell'UE, ad esempio, dovrebbe liberare circa 43 miliardi di euro di nuovi investimenti del settore pubblico e privato, contribuendo a promuovere la ricerca futura, ad espandere la capacità produttiva, a garantire una maggiore resistenza della catena di approvvigionamento e a creare nuovi posti di lavoro. 

Porre la produzione di semiconduttori al centro di una strategia industriale più ampia è fondamentale per sostenere lo sviluppo di mercati che dipendono da una potenza di calcolo e digitale sempre maggiore - 5G, IoT, AI, veicoli autonomi, città intelligenti e così via. È anche un fattore importante per soddisfare le mutevoli esigenze delle imprese e dei consumatori. 

Al tempo stesso, stiamo assistendo a innovazioni nella progettazione e nella produzione di dispositivi a semiconduttore. Questo include:

  • Ricerca sullo sviluppo di nanotubi di carbonio
  • Copolimeri a blocchi ad autoassemblaggio diretto per ridurre il pattern-pitch al di sotto dei 10nm
  • Integrazione eterogenea 3DIC
  • L'uso del grafene e di altri nuovi materiali composti, per creare chip che occupano aree più piccole con una maggiore potenza di calcolo e un consumo energetico ancora minore.
  • La miniaturizzazione pone una richiesta ancora maggiore di QA

    Man mano che le dimensioni dei chip diminuiscono e diventano più complesse, i processi di produzione dovranno diventare sempre più sofisticati, con specifiche e tolleranze di produzione sempre più strette. A sua volta, ciò farà maggiore affidamento sulle prestazioni dei sensori e degli strumenti che monitorano e controllano le condizioni di processo, per ridurre al minimo il rischio di un calo dei rendimenti o dell'eliminazione di interi lotti di wafer. 

    In particolare, l'esatta purezza dei vari gas specializzati ad altissima purezza utilizzati per la fabbricazione dei semiconduttori è fondamentale per il successo di ogni fase del processo di produzione dei semiconduttori, dalla deposizione, litografia e incisione, al drogaggio, alla ricottura e alla pulizia della camera.

    La chiave per rilevare l'umidità e controllare la qualità

    Il contenuto di umidità in tracce nei gas di processo è un fattore chiave che determina l'efficienza, la coerenza e la qualità del processo di produzione OEM, e quindi i potenziali valori di rendimento. L'umidità in tracce causa un Range di problemi che possono essere difficili da rilevare; questi includono l'ossidazione, l'adesione delle fotoresistenze e la capacità di caratterizzare e prevedere la coerenza di ogni fase del processo.

    Tradizionalmente, il rilevamento di tracce di umidità mediante la misurazione di precisione del dew-point si è rivelato problematico, richiedendo l'uso di analizzatori di umidità e tecniche analitiche complesse e costose. Molti di questi problemi sono stati superati con lo sviluppo di sensori di dew-point ceramici in linea a basso costo, che forniscono strumenti estremamente accurati e a risposta rapida in grado di rilevare livelli di umidità in tracce fino a poche parti per milione in gas ad altissima purezza. 

    L'ultimo di questi strumenti, il Pura Advanced Online 2, può essere fornito come igrometro o trasmettitore, per l'uso da parte di OEM di semiconduttori in ogni fase del loro Funzionamento. Il Pura offre livelli eccezionali di stabilità e ripetibilità, è in grado di misurare il dew-point fino a -120 °Cdp, è preciso fino a ±1 °C a -60 °Cdp e fornisce una risposta rapida alle variazioni delle condizioni di processo. Inoltre, il nuovo sensore è disponibile in versione a sicurezza intrinseca, con omologazione ATEX, UKCA e IECEx. È supportato dai nostri servizi completi di assistenza tecnica, manutenzione e calibrazione e può essere fornito anche nell'ambito del nostro Programma di scambio di sensori, progettato per aiutare gli OEM a ridurre al minimo la manutenzione e i tempi di inattività.

    Strumenti come il Pura Advanced Online 2 sono vitali per gli OEM di semiconduttori, in quanto agiscono come strumenti chiave per garantire sia le prestazioni degli attuali funzionamenti di produzione sia, dato che i chip diventano sempre più piccoli e complessi, per facilitare lo sviluppo futuro e la crescita produttiva.

    Per saperne di più sui nostri prodotti per il rilevamento di tracce di impurità nei gas dei semiconduttori.

    Siamo i maggiori esperti mondiali nel monitoraggio dell'umidità e nella misurazione del dew-point. Disponiamo di otto diverse tecnologie che coprono tutte le applicazioni di umidità, supportate da un'assistenza tecnica e clienti senza pari. Per saperne di più, parlate con uno dei nostri specialisti delle applicazioni oggi.

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