1 marzo 2022

Analizzatore unico: misure sub-ppb di N2 ultra stabili in Argon per l'industria dei semiconduttori

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I produttori di semiconduttori stanno beneficiando di una maggiore fiducia nella qualità dei loro gas di processo grazie al miglioramento della rilevazione di tracce di azoto a livelli sub-ppb.

LDetek ha migliorato il suo analizzatore di azoto in tracce LD8000 Plus, che ora offre un limite di rilevamento inferiore di 0,1 ppb N2. Progettato specificamente per le esigenze dei produttori di semiconduttori, l'analizzatore aggiornato offre anche un tempo di risposta rapido di 60 secondi e una migliore stabilità.

Basato sul rilevatore di emissioni al plasma (PED) brevettato da LDetek, utilizza una combinazione di un equilibrio di vuoto controllato, più una rete di valvole per bilanciare le fonti di eccitazione, per migliorare le letture di N2 in traccia. Questo metodo senza deriva rende l'LD8000 Plus lo strumento più efficace attualmente sul mercato per misurare l'azoto in tracce a livello sub ppb.

   

I punti salienti dell'aggiornato LD8000 Plus includono:

Effetto di autocancellazione dalla contaminazione della linea del gas e dall'assorbimento superficiale grazie alla linea del gas rivestita e alle condizioni di vuoto ottimizzate.

Misure ultra stabili: L'interferenza e la deriva della temperatura sono state ridotte al minimo con l'uso della misurazione differenziale continua tra il gas campione e il gas di riferimento privo di azoto.

Sono state effettuate misurazioni stabili.  

Analizzatore a risposta rapida per un migliore controllo del processo.

   

LDetek ha pubblicato un rapporto di progettazione che fornisce tutti i dettagli sulla linearità, la precisione e la ripetibilità dell'analizzatore insieme ai dati di prova e ai cromatogrammi. È possibile scaricare una copia del rapporto da ProcessSensing.com.