Detecção e Controle de Impureza de Traços Essenciais para a Fabricação de Semicondutores
Os gases especiais utilizados na fabricação de semicondutores devem ser de alta pureza, devido à precisão detalhada do processo. Mesmo a presença de impurezas vestigiais medidas em partes por trilhão resultará na perda de lotes inteiros de bolachas. Medidas confiáveis e repetíveis de parâmetros-chave com limites de detecção inferiores a <100 ppt são essenciais nestas aplicações.