Rilevamento e controllo delle tracce di impurità essenziali nella produzione di semiconduttori
I gas speciali utilizzati nella produzione di semiconduttori devono essere ad elevata purezza a causa della precisione dettagliata del processo. Anche la presenza di tracce di impurità (misurate in parti per trilione) comporta la perdita di interi lotti di wafer. Misure affidabili e ripetibili di parametri chiave con limiti di rilevamento inferiori a <100 ppt sono fondamentali.