Spurenfeuchtemessung

Bei Anwendungen mit hochreinen Gasen, beispielsweise in der Halbleiterindustrie, ist der Restfeuchtegehalt des Gases entscheidend für den zufriedenstellenden Betrieb eines Prozesses. Dieser spezialisierte Bereich, in dem komplexe Gase verwendet werden, deckt ein breites Spektrum von Anwendungen ab - wie Gasreinigungssysteme, reine Gase, Glasfaserherstellung, optische Beschichtungsverfahren, Herstellung elektronischer Bauteile sowie Produktion und Vertrieb von Spezialgasen.


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