Druckregler-Serie - LDetek LDPRR

Druckminderer für die Halbleiterfertigung

Features

  • Regler vom Typ VCR
  • Ausgelegt für Halbleiteranwendungen
  • Interne Oberflächen b. A. Grade bis e. P. 10 ra, 5 ra
  • Alles ausgeführt in Reinräumen der Klasse 100 und Klasse 10
  • Gewindelose Ausführung
  • Sperrplattendichtungssystem

Die Druckreglerserie LDPRR umfasst Druckminderer, die für den Einsatz an speziellen Fertigungslinien für ultrahochreine Gase für die Halbleiterindustrie, Bulk-Gas-Linien und andere Anlagenlinien konzipiert sind.

Für den Einsatz an der Halbleiterfertigungslinie ist die Innenfläche des Reglers auf das Niveau von E.P. 10Ra, 5Ra unter B. A. grade behandelt. Es wurde ein spezielles Verriegelungssystem entwickelt und angewendet. Der gesamte Prozess der Montage, Schweißen, Testen und Waschen dieser Serie wird in einem Reinraum durchgeführt und sorgfältig verwaltet.

Entwickelt mit einem Push-and-Lock-Typ-Griff, der die Selbstveränderung des voreingestellten Wertes vollständig verhindert, die durch die Vibration von außen oder winzige Vibrationen an der Gasleitung verursacht werden kann. Sie können die Selbstveränderung des voreingestellten Wertes nur durch Drücken des Griffs verhindern und den Wert durch Ziehen des Griffs frei zurücksetzen.

de